소각로에서 연소된 폐기물에 의해서 발생한 고온의 연소가스는 연소가스 냉각설비나 보일러를 통과하여 220~250℃의 온도로 냉각된 후 후속설비인 Semi-Dry-Reactor로 보내어 진다.

Semi-Dry-Reactor에 4~20%소석회 슬러리상태로 이류체 노즐 또는 Rotary Atomizer를 통하여 반응탑 상부의 가스 유입부에서 미세한 액적으로 분무되어 연소가스와 병류(CO-CURRENT FLOW)로 접촉하며 가스중의 SOx, HCl, HF와 화학반응을 일으켜CaSO3, CaSO4, CaCl2, CaF2의 고체입자 상태로 하부호퍼를 거쳐 제거된다.

잔존하는 미량의 산성가스는 덕트 상에서 분무되는 분말소석회에 의하여 일부 제거되고, 여과집진설비에 분말소석회 및 분말 활성탄으로 형성된 Filter Cake에 의해 제거된다.

• 습식과 건식 공정의 장점 혼합 : 소석회 등의 탈황제(Absorbents)를 물에 용해시켜 연소가스에 분무(wet process) + 연소가스의 열에 의해 액적의 수분이 증발되어 폐수가 발생하지 않음(dry process)
• SOX, HCI등의 유해 산성가스를 Ca(OH)2 등의 탈황제와 접촉시켜 CaCl2, CaSO3로 제거(Chemical Reaction: SO2 + Ca(OH)2 → CaSO3 ↓ + H2O)